О магазине Контакты Оплата и доставка Как заказать? Помощь
Загрузка...

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях — Вячеслав Галперин, Евгений Данилкин, Алексей Мочалов

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях — Вячеслав Галперин, Евгений Данилкин, Алексей Мочалов #1

Арт.: 756424030

Автор:   Вячеслав Галперин
Евгений Данилкин
Алексей Мочалов
Серия:    Нанотехнологии
Переплет:    Твердый
Страниц:    288
Формат:    145х215 мм (средний формат)

Нет на складе

 В "Желаемое"  


Контакты
• 050-413-64-94, 063-233-0-299
Подробнее →

Доставка
• Курьером по Украине: от 85 грн.
• Новая почта до склада: от 50 грн.
• Укрпочта: от 40 грн.
Подробнее →

Оплата
• Расчет при получении
• Предоплата
Подробнее →

Описание

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Отзывы

|
Получайте бонусы за отзывы! 

Написать отзыв

Введите символы (цифры и латинские буквы), которые Вы видите на рисунке (это защита от спам-роботов):



Задать вопрос

Введите символы (цифры и латинские буквы), которые Вы видите на рисунке (это защита от спам-роботов):



 

Новости


Все категории