| ||||||||||
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях — Вячеслав Галперин, Евгений Данилкин, Алексей Мочалов
Быстрый заказ Быстрый заказ — это заказ 1 товара в 1 клик! |
|
Описание
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Отзывы
Новости
- 31.12.2023
- График работы: 1-2 января 2024 магазин не работает!
- 10.04.2022
- График работы во время войны
- 05.01.2022
- Если не дозвонились ?
Написать отзыв
Задать вопрос